所属行业： 电子元器件
公司地址：广东天河区
联系邮箱： 512480780@qq.com
主营项目： 微纳加工技术服务|真空镀膜技术服务|紫外光刻技术服务|材料刻蚀技术服务
联系人：曾先生
020-61086422 / 15018420573
公司简介
广东省科学院半导体研究所微纳加工平台，面向半导体光电子器件、功率电子器件、MEMS、生物芯片等前沿领域，致力于打造高品质的公益性、开放性、支撑性枢纽中心。平台拥有半导体制备工艺所需的整套仪器设备，建立了一条实验室研发线和一条中试线，加工尺寸覆盖2-6英寸（部分8英寸），同时形成了一支与硬件有机结合的专业人才队伍。平台当前紧抓技术创新和公共服务，面向国内外高校、科研院所以及企业提供开放共享，为技术咨询、创新研发、技术验证以及产品中试提供技术支持。
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