江苏自动研磨减薄机 和谐共赢 坂口电子机械供应

高速横向减薄机主要用途：非常适合于工件硬度比较高，厚度超薄，且加工精度要求高的产品。如：LED蓝宝石衬底、光学玻璃晶片、石英晶片、硅片、诸片、陶瓷片、钨钢片等各种材料的快速减薄。工作原理：本系列横向研磨机为精密磨削设备，由真空主轴吸附工件与金刚石磨轮作相反方向高速磨削，金刚石磨轮前后摆动。该方法磨削阻力小、工件不会破损，而且磨削均匀生产效率高，江苏自动研磨减薄机。特 点：1．可使工件加工厚度减薄到0.02mm厚而不会破碎，江苏自动研磨减薄机。而且平行度与平面度可控制在±0.002mm范围内，江苏自动研磨减薄机。2．减薄效率高，LED蓝宝石衬底每分钟可减薄48um。硅片每分钟可减薄250um。3．系列研磨机采用CNC程控系统，触摸屏操作面板。减薄机通过机械加工和化学反应的方法对样品进行一系列减薄研磨抛光。江苏自动研磨减薄机

在显示屏制作工艺中增加减薄工艺，通过物理和化学方法使显示器厚度达到轻薄化的目的，目前玻璃化学腐蚀工艺主要使用氢氟酸混合物对液晶玻璃进行减薄，减薄时使用刻蚀液的刻蚀方式有浸泡式、液晶玻璃双面喷洒式以及以及单面的瀑布流式，由于浸泡式、液晶玻璃双面喷洒式都具有刻蚀后表面不光滑的现象，所以越来越多的使用瀑布流式。现有技术对于液晶玻璃减薄，液晶玻璃的刻蚀工艺以及清洗工艺是分开操作，操作过程较为繁琐，喷洒机构满足不了液晶玻璃的瀑布流式刻蚀，为此，我们提出一种集刻蚀工艺以及清洗工艺为一体的适用于瀑布流式玻璃减薄的液晶玻璃减薄机来解决上述问题。江苏自动研磨减薄机卧式蓝宝石减薄机一般加工直接在200mm以内的工件。

新型的减薄机吸盘装置，包括砂轮主轴及通过螺钉安装在砂轮主轴下方的砂轮，其砂轮主轴上端连接有动力驱动装置；其特征在于：的砂轮主轴通过螺钉与砂轮组成一体式结构的磨削装置，其的磨削装置下方设有磨削工作台，的磨削工作台包括真空装置及通过螺钉安装在真空装置上方的吸盘，由于真空装置的腔体与吸盘形成了一体式的真空吸盘，且吸盘上通过真空吸附有上设有簇状吸附孔的散热工作台，且散热工作台由铝或不锈钢或铝箔制成，其使吸盘的真空吸附通过簇状吸附孔将磨削工件吸附在散热工作台上。横向减薄机磨削阻力小、工件不会破损。

硅片减薄机技术的原理：当前主流晶圆减薄机的整体技术采用了磨削原理设计.为了实现晶圆的延性域磨削，提高减薄质量，通过减小砂轮轴向进给速度实现微小磨削深度,因此，要求设备的进给运动分辨率小于0.1Ixm,进给速度1ixrn/min. 另外，为了提高减薄工艺的效率,进给系统在满足低速进给的前提下，要尽可能实现高速返回。国内外减薄机现状：国外硅片超精密磨床制造起步较早，发展迅速，技术先进其中美国,德国，日本等发达国家生产的硅片超精密磨床技术成熟,表示着减薄机较高水平。目前国外生产的减薄机具有高精度,高集成化,自动化,加工硅片大尺寸化,超薄化等特点。我们通过减薄机研磨的方式对晶片衬底进行减薄，从而改善芯片散热效果。

晶圆加工减薄机吸盘由网板、安装孔构成，网板为圆形结构，网板上两个以上的网孔即为安装孔，安装孔和气管活动配合。网板的网孔呈均匀等距分布，分布均匀。吸盘上还设有软胶垫，软胶垫和网板活动嵌合，软胶垫形状与网板等同，软胶垫厚度低于网板厚度。气管由海绵圈、底管、支撑架组成，底管一端衔接有一个海绵圈，海绵圈正中间嵌有支撑架，底管和通气腔活动配合，海绵圈顶端面光滑。支撑架由圈状的弹线圈和经线垂直交叉形成的圈筒，弹线圈和经线材料本身具有一定地弹性。减薄机尽量减少洁净间的占地面积；江苏自动研磨减薄机

减薄机研磨垫图形大体的功能先是研磨垫之孔隙度可以协助研磨液于研磨过程输送到不同的一些区域。江苏自动研磨减薄机

卧式减薄机是一款性价比比较高的小型高精度研削设备，采用砂轮轴横卧的安装方式，手动装片，通过砂轮进给控制研削量。设备工作台可根据客户需求进行定制化，应用普遍。产品特点：1、功能周全：具有多段研削程序、超负载等待等功能，满足各类工艺需求。2、操作简便：PC工控机系统，触摸屏操控，除手动上、下片外一键式自动完成减薄加工。3、兼容性好：可根据客户需求定制化各类工作台，满足各类半导体材料的研削薄化工艺。4、性价比高：保证加工成本合理优化。江苏自动研磨减薄机