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坂口电子机械(上海)有限公司的晶圆加工减薄机吸盘由网板、安装孔构成,网板为圆形结构,网板上两个以上的网孔即为安装孔,安装孔和气管活动配合。网板的网孔呈均匀等距分布,浙江小型减薄机价格,分布均匀。吸盘上还设有软胶垫,软胶垫和网板活动嵌合,软胶垫形状与网板等同,软胶垫厚度低于网板厚度。气管由海绵圈、底管、支撑架组成,底管一端衔接有一个海绵圈,浙江小型减薄机价格,海绵圈正中间嵌有支撑架,底管和通气腔活动配合,海绵圈顶端面光滑,浙江小型减薄机价格。支撑架由圈状的弹线圈和经线垂直交叉形成的圈筒,弹线圈和经线材料本身具有一定地弹性。减薄机的功能是协助将芯片表面的研磨产物移去。浙江小型减薄机价格
立式减薄机平行度与平面度可控制在±0.002mm范围内。减薄效率高,LED蓝宝石衬底每分钟磨削速度极高可减薄48微米。硅片每分钟磨削速度极高可减薄250微米。其应用于IC封装晶圆背减工艺,化合物材料、红外材料及其他硬脆或复合材料的薄化工艺;适用于陶瓷、玻璃等基板类产品的超薄平坦化加工;使用Grinding工艺可在大部分产品上弥补Lapping工艺无法实现的100mm及以下超薄加工的需要;可以优化Lapping工艺的加工流程;可磨削的材料涉及硅、氧化铝、碲锌镉、铌酸锂、蓝宝石、砷化镓和碳化硅等。浙江小型减薄机价格立式蓝宝石减薄机在目前LED蓝宝石生产线上,被公认为目前国内极 好的减薄机。
立式减薄机采用高精密丝杆及导轨组件,驱动方式是伺服驱动,可根据不同材质的工件及工艺要求由PLC控制的驱动模式而相应的改变丝杆的转速,也就是砂轮的进刀速度,速度0.001-5mm/min可调,控制进给精度由高分辨率光柵尺检测。采用先进的中国品牌PLC和触摸屏,自动化程度高,实现人机对话,操作简单一目了然。设备可检测磨削扭力、自动调节工件磨削速度,从而防止工件磨削过程中因压力过大产生变形及破损,自动补偿砂轮磨损厚度尺寸,可使直径150晶片厚度减薄到0.08mm厚而不会破碎。
硅片酸洗减薄机伺服电机可在支座的带动下断开与旋转提篮的传动连接,则旋转提篮就能被顺利取出箱体,以便于打开圆柱状围笼的笼盖取出减薄后的硅片,操作方便;通过设于箱体内的调温用的耐腐蚀循环水管,实现酸温测量、酸温控制,避免了酸温过高造成的浮胶现象,酸温过低硅片腐蚀速度慢、漂片不均匀,保证了腐蚀反应符合设计计算要求的腐蚀效率和均匀性。化学减薄方式对于成品芯片压降等动态参数的提升起到非常重要的作用,且有效的降低了磷扩时间,达到节能的目的。减薄机PC工控机系统,触摸屏控制,除手动上、下片外一键式自动完成研削加工。
减薄机砂轮与硅片的接触长度,接触面积,切入角不变,磨削力恒定,加工状态稳定,可以避免硅片出现中凸和塌边现象。现在直径200mm以上的大尺寸硅片背面磨削(backgrinding)大都采用基于硅片白旋转磨削原理的超精密磨削技术。硅片背面磨削的工艺过程:硅片背面磨削一般分为两步:粗磨和精磨.在粗磨阶段,采用粒度46#~500#的金刚石砂轮,轴向进给速度为100~500mm/min,磨削深度较大,般为0.5~11ITf1。目的是迅速去除硅片背面绝大部分的多余材料(加工余量的90%).精磨时,加工余量几微米直至十几微米,采用粒度2000#~4000#的金刚石砂轮,轴向进给速度为0.5~10mm/min。全自动减薄机可配置单轴、双轴研削单元。蓝宝石减薄机吸盘可分为电磁吸盘和真空吸盘,其直径大小一般为320-600mm。浙江小型减薄机价格
蓝宝石减薄机由吸盘、砂轮、砂轮主轴及驱动组件、丝杆进给组件等组成。浙江小型减薄机价格
硅片酸洗减薄机通过旋转提篮带动硅片在装有酸液的箱体内旋转,旋转的同时实现减薄,对于原始硅片有效的控制了单片均匀性、重复性和稳定性,提高了极终成品率;旋转提篮的圆柱状围笼对硅片具有盛装并固定位置的作用,防止由于硅片在围笼内晃动导致碎片,安全可靠;由于圆柱状围笼底部沿其长度方向均匀设有多个隔棱,则可实现大量硅片的同时装夹,实现硅片减薄的批量生产,明显提高了工作效率,同时也方便了对硅片的夹装工作,一致性好;伺服电机可带动旋转提篮在一定周期内交替正、反转,明显增强硅片表面的减薄均匀性;减薄机减薄后厚度均匀性需要对砂轮进行修平,校正砂轮环中心固定螺母及球轴承主轴。浙江小型减薄机价格