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蓝宝石晶体生长后需要进行切片,切片后的蓝宝石整个表面 会十分粗糙且不平整,对此则需要进行双面研磨加工。通过研磨减薄机加工是一种以磨粒的微小塑性切削,滚轧等形式为主体的材料去除方式,在材料去除过程中是上、下研磨盘同时作用,,使局部高温,高压对称作用在工件的两个平行平面,有利于消除热变形或机械作用引发并破坏材料的平面度、平行度。采用两个平行平面同时进行研磨加工,其效率比分别研磨两个平面效率要高得多。双面研磨对于蓝宝石来说能起到以下几个作用: 1,浙江全自动化学减薄机种类.对于蓝宝石由于切片过程引起的切痕与凹凸不平有去除作用; 2.可以合蓝宝石晶片表面加工损伤达到一致,这就就能确保在化学腐蚀过程中产生的腐蚀速度能达到均匀一致; 3.可以使片与片之间的厚度相差值缩小; 4.不仅能改善表面平整性,还能提高平行度,使蓝宝石各处的厚度达到均匀化。 5.蓝宝石晶体双面研磨加工均匀性只要达到可以接受的水平,后续研磨方式采用单面研磨加工就能进一步提高蓝宝石晶体的表面均匀性和降低其表面损伤层。研磨减薄机主要特点:主机采用变频调速电机驱动,配置大功率减速系统,浙江全自动化学减薄机种类,浙江全自动化学减薄机种类,软启动、软停止,运转平稳。浙江全自动化学减薄机种类
研磨减薄机的主要特点: 1.研磨减薄机采用变频调速电机驱动,配置大功率减速系统,软启动、软停止,运转平稳。 2.太阳轮可以正反方向转动,游星轮自转方向可以改变,工件在载体内作既公转且自转的游星运动。 3.研磨减薄机采用了自动供给研磨液装置,采用平面加压形式,在开放式设备上配备了加压气缸,研磨压力分轻、重、轻可随意调节压力,易于精密研磨。 4.研磨盘的平面度可以通过修整齿轮自动修正,研磨量由文本显示器计时控制,电机变频调速,启停平稳,并能选择理想的磨削速度, 5.研磨减薄机机床造型及内部结构充分考虑了操作和维修的方便性。浙江小型化学减薄机设备研磨减薄机维修与保养:经常检查电器控制系统灵敏可靠。
大型研磨减薄机的结构特点如下: 1.系列大型研磨减薄机运行采用四台电机驱动,可以给上研磨盘、下研磨盘、齿圈、太阳轮单独进行调速,使研磨达到较理想的转速比,其太阳轮相对与其它三个转速的速比可作无级调速,使游轮可实现正转、反转,满足了不同研磨及修盘工艺的需求。 2.系列大型研磨减薄机采用PLC程控系统,触摸屏操作面板,电机采用变频调速,电机转速与运行时间可直接输入触摸屏。 3.系列减薄机采用四段压力,即轻压、中压、重压、修研的运行过程。 4.系列大型研磨减薄机为下研磨盘升降方式,下研磨盘的高低位置可在总行程范围内随意停留自锁,以满足改变游轮啮合高低位置的需要。 5.可根据用户要求增加光栅厚度控制系统,加工后的产品厚度公差可控制在±0.002mm范围内;平面度公差可控制在±0.001mm范围内。
目前较好减薄机床行业大部分都是进口产品,虽然国产减薄机出现了不少新设备新技术,但要将较好研磨减薄机机床市场化还有以下几方面的任务: 1. 研发生产出更多高科技研磨设备;没有新技术新设备,许多各行业高科技产品及工件无法加工出合格的产品来,自然无法参与到同行业国内外较好设备的竞争中去。这还只是一步。 2. 有效的生产流程及生产工艺;能够生产出一套产品,还要能够生产出一系列及批量产品,这对一家公司的系列生产能力、流程及工作精度及效率有相当的要求,无法迈过这道槛,当然也无法参与竞争,小作坊的时代早就离我们而去,现在是又快又好的科技前端高速发展的时代。 3. 品牌管理及企业管理;要在竞争中脱颖而出并能打好持久战,自然也要有雄厚的管理势力,这是除各种硬件设施外的软件条件。自然也是不可或缺的。研磨减薄机维修与保养:打开容器上盖,用手拨动偏心体应无阻碍现象,且转动灵活。
研磨减薄机主要用于两面平行的晶体或其它机械零件进行双面研磨,特别是薄脆性材料的加工。适用于各种材质的机械密封环、陶瓷片、气缸活塞环、油泵叶片轴承端面及硅、锗、石英晶体、石墨、蓝宝石、光学水晶、玻璃、铌酸锂、硬质合金、不锈钢、粉灰冶金等金属材料的平面研磨和抛光。其主要特点有:1、采用无级调速系统控制,可以轻易调整出适合研磨各种部件的研磨速度。采用电—气比例阀闭环反馈压力控制,可以调控压力装置。上盘设置的缓降功能,有效的防止薄脆工件的破碎。2、通过一个时间继电器与一个研磨计数器,可以按加工要求准确设置和控制研磨时间和研磨圈数。工作时可调整压力模式,达到研磨设定的时间或圈速的时候就会自动停机报警提示,实现半自动化的操作。通过增加厚度光栅尺形成闭环控制,达到设定的厚度会自动停机,实现在线控制生产。3、主机一般采用调速电机驱动,配置大功率减速系统,软启动、软停止,运转平稳。4、通过上、下研磨盘、太阳轮、游星轮在加工时形成四个方向、速度相互协调的研磨运动,达到上下表面同时研磨的高效运作。对厚薄不等和平面度精度要求不同的工件,研削效率与研磨压力在70到350克力的压强范围内是成正比的。浙江小型化学减薄机设备
减薄机正常运转,操作条件不变,运转电流一般是保持在额定范围之内不变的。浙江全自动化学减薄机种类
由于在现有技术中,只在每段减薄完成后对晶圆片进行厚度测量,而每段减薄过程中设置的工艺参数并不完全精确,例如:若砂轮转速或者砂轮的前进速度设置的稍大,则对晶圆片的磨削将超过预期,导致该段减薄结束后,晶圆片的厚度小于该段设定的目标值;或者在减薄过程中自动减薄机出现故障导致对晶圆片造成损坏;或者其他异常问题。所以,如果在每段减薄完成后对晶圆片进行厚度测量,容易出现每段减薄完成后,晶圆片厚度的实际值与该段设定值不符的问题,造成晶圆片的减薄良率下降。测量装置和自动减薄机,可以在晶圆片减薄过程中实时测量晶圆片的厚度,提高了晶圆片的减薄良率。浙江全自动化学减薄机种类