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减薄机包括机架,江苏手动减薄机多少钱、传送装置和打磨装置,其中,传送装置包括可随中心轴旋转的转盘,转盘上依次设置有若干个围绕中心轴分布的工位,工位用于放置工件;打磨装置包括磨头和用于驱动磨头运动的驱动机构,磨头包括转轴和与转轴连接的磨盘,驱动机构包括设置在机架上的首先驱动组件、位于首先驱动组件上并可水平运动的第二驱动组件和位于第二驱动组件上并可上下运动的第三驱动组件,转轴与第三驱动组件连接,以在第三驱动组件的带动下转动;打磨装置设置在转盘的上方,江苏手动减薄机多少钱,通过转动转盘,江苏手动减薄机多少钱,可使若干个工位逐一与打磨装置的打磨位置对接。减薄机上蜡后平整度大于正负5um,我们要调整蜡层厚度及上蜡的压力。江苏手动减薄机多少钱
硅片减薄技术主要应用于6500V高压系列的可控硅、整流二极管、高密度二极管的生产工艺,单面减薄的作用是提高硅片单面的表面毫伏数,以便于下一步磷扩散工序的顺利完成。目前,国内其他企业都采用常规减薄工艺,即用磨床减薄,其存在如下问题:减薄的均匀性差,减去的厚度难以精确控制,容易碎片,而且经过金刚砂研磨,又引入杂质,造成硅片表面态难以控制。在磨削工件与吸盘之间设置了由铝、不锈钢或铝箔制成的散热工作台的新型的减薄机吸盘装置,其解决了脆性材料难磨削的问题,使用方便、安全。江苏手动减薄机多少钱研磨垫的机械性质影响到薄膜表面的平坦度以及均匀度,所以控制结构及机械性质是非常重要的。
立式减薄机平行度与平面度可控制在±0.002mm范围内。减薄效率高,LED蓝宝石衬底每分钟磨削速度极高可减薄48微米。硅片每分钟磨削速度极高可减薄250微米。其应用于IC封装晶圆背减工艺,化合物材料、红外材料及其他硬脆或复合材料的薄化工艺;适用于陶瓷、玻璃等基板类产品的超薄平坦化加工;使用Grinding工艺可在大部分产品上弥补Lapping工艺无法实现的100mm及以下超薄加工的需要;可以优化Lapping工艺的加工流程;可磨削的材料涉及硅、氧化铝、碲锌镉、铌酸锂、蓝宝石、砷化镓和碳化硅等。减薄机上蜡后平整度大于正负5um,我们要调整蜡层厚度及上蜡的压力。
集成电路制造工艺的发展对硅片等材料质量要求越来越严格,材料表面的波纹度及厚度只能通过减薄工艺来实现,因此减薄机成为必不可少的设备,减薄机主要由工件吸盘、吸盘主轴及驱动器组件、砂轮、砂轮主轴及驱动组件、丝杆导轨进给组件及其他辅助配件构成。目前市场现有吸盘可以分为电磁吸盘和真空吸盘,吸盘的大小根据需求定制。电磁吸盘利用磁通的连续性原理和磁场叠加原理设计。真空原理是由负气压变成零气压或正气压从而提升吸附产物的原理设计。蓝宝石减薄机能加工工件厚度在5u以下的工件。减薄机具有自动测厚补偿、多段研削程序、超负载等待等功能,满足各类工艺需求。
硅片酸洗减薄机箱体内支撑有旋转提篮,旋转提篮由两个圆形固定板、横向连接于两个圆形固定板之间的圆柱状围笼、设于两个圆形固定板外侧面的转轴及提手组成,圆柱状围笼由围笼本体、与围笼本体铰接的半圆状笼盖组成,半圆状笼盖的开口侧边沿与围笼本体利用锁扣连接,围笼本体底面均匀间隔设置多个隔棱,箱体外侧一端固定有滑道且滑道上方滑动连接有支座,支座的水平板面上固定有倒置的伺服电机,伺服电机的电机轴通过传动机构与旋转提篮的转轴相连,箱体的内侧壁上另固定有循环水管。结构设计合理、操作方便,实现硅片单面化学减薄,不只生产批量大,而且提高了成品率,节省资源,降低生产成本。减薄机尽量减少洁净间的占地面积。减薄机可让样品表面到达所需要的厚度,平整度,粗糙度。江苏自动研磨减薄机种类
减薄机的工作台可根据客户需求进行定制化,应用极广。江苏手动减薄机多少钱
随着半导体技术的快速发展,半导体设备也在一代接一代的创新和发展,当今半导体设备的制造和使用涉及50多个学科和60多种化学元素等诸多方面的高技术,具有较强的技术综合性。如:硅、锗晶片(半导体器件),铌、钽酸锂晶片(声表面波器件),兰宝石(LED元件)、电子陶瓷(各种传感器)等脆性材料。脆性材料的应用越来越极广,尤其是在高新技术应用领域和前端技术应用领域发挥着不可代替的作用,半导体硅等材料作为集成电路制造的重要基体材料这时候的减薄机就需要发挥他的作用。江苏手动减薄机多少钱