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    多温区管式炉注意事项：1.多温区管式炉操作注意事项炉子初次使用或长时间不用后，要在120度左右烘炉1小时，在300度左右烘烤2小时后使用，以免造成炉膛开裂。炉温不得超过额定温度，以免损坏加热元件及炉衬。2.禁止向炉膛内直接灌注各种液体及溶解金属，保护颅内清洁。3.炉体若采用硅钼棒做加热元件，依据硅钼棒的物理特性，常温下脆性很大，因此在加热元件安装好后不能随意拆装和搬动炉体，4.冷炉使用时，由于炉膛是冷的，须大量吸热，所以低温段升温速率不宜过快，各种温度段的升温速率差别不宜太大，设置升温速率时应充分考虑所烧结材料的物理化学性质，以免出现喷料现象，污染炉膛，5.定期检查温度控制系统的电器连接部分的接触是良好，应特别注意加热元件的各连接是否紧固。6.硅钼棒作为加热元件时不宜在400-700度温度段长时间运行，否则硅钼棒将发生低温氧化。7.硅钼棒做加热元件时，长时间运行，深圳CVD管式炉厂家，阻值会逐渐增大，深圳CVD管式炉厂家，这种现象叫“老化”。 真空管式炉主要应用在哪些领域？日常比较常见的玻璃，深圳CVD管式炉厂家、LED的发光材料等，都是利用真空管式炉进行处理的。深圳CVD管式炉厂家

    PECVD工作原理是什么？PECVD技术是在低气压下，利用低bai温等离子体在工艺腔体的阴极du上（即zhi样品放置的托盘）产生辉光放电，利用辉光放电（或另加发热体）使样品升温到预定的温度，然后通入适量的工艺气体，这些气体经一系列化学反应和等离子体反应，较终在样品表面形成固态薄膜。其工艺原理示意图如图1所示。在反应过程中，反应气体从进气口进入炉腔，逐渐扩散至样品表面，在射频源激发的电场作用下，反应气体分解成电子、离子和活性基团等。这些分解物发生化学反应，生成形成膜的初始成分和副反应物，这些生成物以化学键的形式吸附到样品表面，生成固态膜的晶核，晶核逐渐生长成岛状物，岛状物继续生长成连续的薄膜。在薄膜生长过程中，各种副产物从膜的表面逐渐脱离，在真空泵的作用下从出口排出。 浙江CVD管式炉实验室**在操作真空管式炉的时候，也要严格的按照操作的说明书进行操作。

管式炉由加热炉本体和余热回收系统组成，管式加热炉炉体内设置有烟囱档板，加热炉本体于烟囱档板下方设置有高温烟气出口，余热回收系统包括空气预热器，空气预热器由非冷凝式空气预热器和冷凝式空气预热器两段组成。管式炉外形呈一横置的圆柱体，它安置于由薄钢板制成的底座上。炉壳用薄钢板圈焊而成,工作室为碳化硅或氧化铝耐火材料制成的管形炉膛，炉膛外表面制有螺旋形的单丝槽，铁铬铝合金丝绕于丝槽内。炉膛两端用耐火材料制成的炉圈固定于炉盖上。炉膛与炉壳之间用硅酸铝耐火纤维制品等材料砌筑为保温层。

    箱式炉的安全操作：1、清理炉内铁屑，清扫炉底板，以免铁屑落于电阻丝上造成短路损坏。2、入箱式炉的工件应不超过炉底板.大载荷量，装卸工件时应确保电源断开的情况下进行。3、汪意检查热电偶安装位置。热电偶插入炉内后，应保证不与工件相碰。4、根据工件的图纸要求，试验箱式炉，确定合理的工艺范围。按时升温，保证出炉操作，经常检查仪表温度并进行校准，防止误操作。5、为保证炉温，不能随便打开箱式炉炉门，检查炉内情况应从炉门孔中观察。6、冷却剂应放置于就近方便的位置，减少工件出炉后降温。7、出炉时应工位正确，夹持稳固，防止炽热工件伤害人体。8、箱式炉检修后，必须按规定进行烘烤，并检查炉堂及顶部保温粉是否填满，接地是否与炉壳紧固。 CVD管式炉使用或长时间不用后，要在120℃左右烘烤1小时。

管式炉炉型如何选择呢？1、被加热介质气化率大、重度大、容易结焦或者是有特殊的工艺要求的话，应该选择水平管式立炉，如果被加热介质容易拖析出晶体，或者是含有固体物质的话，应该选择螺旋管圆筒炉。2、被加热介质有化学反应的时候，炉内温度应该和管内化学反应过程相适应，应该选择单排管双面辐射的箱式炉。3、被加热介质以气相为连续相，体积流量大，要求压降小的时候，适合选择一起管竖管式、倒U型、U型或者是∏型盘管结构的箱式炉，小负荷的时候也可以使用盘管为一起管连接的立管圆筒炉。真空管式炉的零件老化以后就会影响工作的效率，对于器件的处理上就会不尽完美。深圳CVD管式炉厂家

在操作真空管式炉的时候。一定要有安全意识。深圳CVD管式炉厂家

    CVD管式炉1.按温度高低的来分可分为：RGF1800型，RGF1700型，RGF1600型，RGF1500型，RGF1400型，RGF1300型，RGF1200型，RGF1100型，RGF1000型，RGF900型，RGF800型等。2.按炉型大小来分可分为：RGF大型管式气氛炉，RGF中型管式气氛炉，RGF小型管式气氛炉，RGF微型管式气氛炉等。3.按控温精度来分可分为：RGF精细智能一体式管式气氛炉，RGF精细式管式气氛炉，RGF标准式管式气氛炉等。4.按管式气氛炉材质分为：RGF氧化铝管式气氛炉，RGF刚玉管式气氛炉，RGF石英管式气氛炉，RGF氮化硅管式气氛炉，RGF氮化硼管式气氛炉等。    深圳CVD管式炉厂家