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电子特气管道高纯气体管路的设计要点特种气体的供应方式截至目前为止，几乎皆用钢瓶的方式进行。一般常用的为高压钢瓶，依其填充的气体特性有分为气态和液态两种。一般气体依液态储存于钢瓶内，瓶内压力较高，所以比较好方式是选用吸附式气态钢瓶，以气体分子与吸附剂间的范德瓦力将气体吸附于吸附剂孔隙中，其优点为供气压力低于一个大气压，无任何泄漏的危险，且供气量为普通高压钢瓶的10倍，低蒸汽压的气体以液态储存于钢瓶内；针对易燃易爆，有毒性腐蚀性的气体，常将钢瓶至于特气柜中，再通过管路将气体供应至现场附近的阀箱，经过一系列的控制而后进入用气点；一般惰性气体以开放式的气瓶架和阀盘供应，下面由沃飞特气系统解决方案为大家讲解一下电子特气管道高纯气体管路的设计要点。特气管道1.对于不同特性的气体，要规划**的供应区域，一般分为三个区：腐蚀性/毒性气体区、可燃性气体区、惰性气体区，将相同性质的气体集中加强管理，可燃性气体区要特别规划防爆墙与泄漏口，若空间不足，可考虑将惰性气体放置与毒性/腐蚀性气体区。2.管路设计需要考虑输送的距离，距离越长，成本越高，风险也越高，通常较合理的设计流速为20ml/S，可燃性气体小于10ml/S。

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毒性/腐蚀性气体小于8ml/S，在用量设计方面，则需要考虑使用点的压力和管径大小，前者与气体特性有关，后者使用点的管径一般为1/4”～3/8”。3.根据用气设备的分布情况，高纯气体的管网不宜过大或者过长；宜采用不封闭的环形管路，在系统末端连续不断排放少量的气体，以便在管网中总有高纯气体流通，不会发生“死空间”引起高纯气体的污染。4.管路中应减少不流动气体的“死空间”，不应设有盲管，在特种气体的储气瓶与用气设备之间应设吹扫控制装置、多阀门控制装置、用以控制各个阀门的开关顺序、系统吹除，以确保供气系统的安全、可靠运行和防止“死区”形成而滞留污染物，降低气体纯度。5.对高纯气体纯度要求不同的用气设备，宜采用分等级高纯气体输送系统；也可采用同等级输送系统，但是在纯度要求高的用气设备邻近处设末端气体提纯装置。6.为了检测高纯气体的纯度和杂质含量，输送系统除了设置必要的连续检测仪器，如衡量水含量或者氧杂质含量等分析仪外，还应设置定期取样用的检测采样口，以便按规定时间进行采样，分析高纯气体中各种杂质的含量。7.在亚微米级的集成电路生产中，要求供应10－9级的高纯气体，为了确保末端用气工艺设备处的气体纯度。

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其中在石油化工领域对标准气体的需求量相对较大。石油化工是我国四大支柱产业之一。我国乙烯工业发展迅速，已建和在建乙烯工程均已到位。在大型石油化工装置开车、停车和正常运行中需要几十种纯气和上百种多组分标准混合气，用来校准定标在线分析仪表及分析原料和产品的检涮仪器。这对于稳定运行和提高产量是非常重要的。乙烯是石油化工业重要的基础原料，其产量和技术水平是衡量一个国家石化工业乃至整个工业水平的重要标志之一。4、电子气体电子工业是当今推动科技发展的高新技术产业，由于所用气体的品种多、质量要求高，为有别于其它领域应用的气体，人们把这类在电子工业中用的气体统称为电子特种气体，它是当今兴起的高技术含量、高投人、高附加值的高新技术产业电子气体的应用领域主要在半导体集成电路生产制造、非晶硅太阳能电池、液晶显示器件、光导纤维生产四大领域，其中主要应用于半导体集成电路的生产。半导体工业用气体的特点是品种多、质量要求高、用量少，大部分是有毒或腐蚀性气体。随着我国市场经济的发展，企业管理水平的提高，一些有实力的生产和科研企业对特种气体市场产生了很大的兴趣，由于特气产品的附加值高。压力管道,是指利用一定的压力用于输送气体或者液体的管状设备。山东质量管道设计

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特气柜管道是一种用于高压气体储存和输送的设备。它由强度高的材料制成，具有很好的耐压性能和安全性。特气柜管道通常用于工业生产、医疗设备以及实验室等领域。其主要作用是存储和输送氧气、氮气、氢气等高压气体。这些气体在工业生产中扮演着重要角色，例如氧气用于炉燃烧、氮气用于气体保护焊接、氢气用于化学反应等。特气柜管道的设计和制造必须符合相关标准和法规，并接受严格的质量检测和安全评估。在使用过程中，必须保证其正常运行并避免任何损坏或泄漏。总之，特气柜管道是现代工业生产和实验室所必需的设备之一。山东质量管道设计

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