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上海玺金机械设备有限公司提供的晶圆载具Wafer CASSETTE采用质量7075-T6易加工成型,其机械性能或尺寸稳定性,耐腐蚀、耐高温(350℃)、坚固耐用,是晶圆载具的比较好原材料,其身上的所用配件都是选用这质量的原料经过切割 ,并经过CNC精密加工零配件后,再进行表面氧化处理使晶圆载具表面槽内光滑无毛刺 不卡料。可应用于晶圆生产各环节,包括低温、常温和高温(350℃晶圆烘烤)的使用。
晶圆作为电子元器件里面的原材料,其经历非常复杂的前段工序而得到的,所以晶圆片的生产成本非常高,它在周转过程中很容易被碰伤、刮花、缺角等问题发生,对其保护也是每一家半导体企业不能忽视的。晶圆载具用于对晶圆片的隔离保护,防止产品在周转存储过程中出现的一系列问题,马鞍山CASSETTE半导体专业技术,它常常用于LED 半导体封装制程的贴膜、背磨,马鞍山CASSETTE半导体专业技术、切割,马鞍山CASSETTE半导体专业技术、划片等工序中。 上海玺金机械设备有限公司半导体行业气动元器件提供,请来电咨询。马鞍山CASSETTE半导体专业技术
伯努利吸盘机械手
上海玺金机械设备有限公司从事晶圆产品后道的设备开发,比如晶圆倒片机、半自动贴膜机、全自动真空贴膜机等。同时公司也开发单独销售零部件,比如XY平台,金属或塑料的CASSETTE,真空载盘,以及伯努利吸盘机械手等等。
伯努利吸盘机械手是利用7075-T6的材质,通过CNC加工后固定的一款轻巧、可靠的晶圆抓取部件,可以装作自动化半导体行业设备里面的部件,她利用伯努利原理,与晶圆静距离非接触时,吹出压缩空气,从而降低吸盘与晶圆之间的大气压,促使吸盘隔空吸住晶圆,当吸住后打开真空吸口,再一次的加强吸力,保证安全可靠的抓取晶圆,完成晶圆在各工位的搬运、翻转工作。 马鞍山CASSETTE半导体专业技术上海玺金机械设备有限公司半导体行业SMC气缸提供,请来电咨询。
上海玺金机械设备有限公司自主研发提供的半自动晶圆真空贴膜机VM-2100规格参数规格参数:
晶圆直径 8”晶圆;
晶圆厚度 100~750微米;
晶圆种类 硅, 化或其它材料;
单平边,双平边,V型缺口;
膜种类 蓝膜或者UV膜;
宽度:220-240毫米;
长度:100米;
厚度:0.05~0.2毫米;
贴膜方法 独特的真空贴膜,无滚轮;膜张紧度可控;
晶圆台盘 接触式晶圆台盘,用于薄晶圆;
晶圆台盘加热 高可达80℃ (对应接触式台盘,可选);
晶圆放置精度 X-Y: +/- 0.5毫米; Θ : +/- 0.5°;
装卸方式 手动晶圆放置与取出;晶圆放置位置检测;
已用胶膜回卷 自动回卷已使用的胶膜;可自动检测膜尾余量;
防静电控制 去离子风扇;
切割系统 自动圆形轨迹切割;
控制单元 基于PC控制,10.4”触摸屏;
电源电压 单相交流电220V,10A;
压缩空气 60 PSI清洁干燥压缩空气,流量每分钟2.5立方英尺;
真空供应 高真空供应装置,用于给真空腔提供真空;
灯塔 三色灯塔和蜂鸣器,用于操作状态监测;
安全 配置紧急停机开关;
体积 宽*深*高 760毫米*950毫米*1900毫米(含300毫米灯塔高度) ;
净重 180公斤;
离子风扇的原理,利用静电发生器把空气电离产生大量正负电荷,并用离子风扇将正负电荷吹出。能有效排除荷电物体上的静电,包括电子零件、塑料、薄膜等。采用高压交流电放射正负离子,能有效提供稳定及均衡正负离子数量,加速中和时间。
半导体设备在加工晶圆的过程中,需要防止静电的风险,而离子风扇、离子棒可以很好的解决消除静电的问题。上海玺金机械设备有限公司为晶圆生产厂家选用SMC、KEYENCE的离子风扇、离子棒,进行改装、维护和替换。 上海玺金机械设备有限公司半导体行业不锈钢螺丝提供,请来电咨询。
晶圆倒片机,上海玺金机械设备有限公司提供一款全自动的倒片机。晶圆倒片机是用来调整集成电路产线上晶圆生产材料序列位置的一款设备,它的任务是将产线上的晶圆通过制程需要进行分批、合并、翻转后进行下一道程序。 另外晶圆在工厂加工时往往要放在CASSETTE上面,而运输中需要放在BOX里面抽真空进行保护,所以晶圆需要在BOX和CASSETTE之间的转换。本公司采用伯努利真空机械手抓取晶圆,用于BOX到CASSETTE,CASSETTE到CASSETTE,CASSETTE到BOX等多种功能。上海玺金机械设备有限公司半导体8英寸晶圆金属cassette提供,请来电咨询。芜湖晶圆制造设备半导体产品介绍
上海玺金机械设备有限公司为半导体行业提供调节阀、比例阀,请来电咨询。马鞍山CASSETTE半导体专业技术
上海玺金机械设备有限公司提供5英寸、6英寸、8英寸耐高温晶圆提篮产品: 晶圆框架盒采用耐高温的6063-T5(或者7075-T6)铝合金制作,提手配置金属材质可放入烤箱进行烘烤,入料口配置不锈钢档杆防止产品掉出,更好的保护晶圆。
产品编号:XJ0A-05-25,XJ0A-06-25,XJ0A-08-25
材质:6063-T5 & 7075-T6
尺寸:5英寸、6英寸、8英寸
槽数:25槽(可做13槽)
垂直度/平整度≤0.5mm
氧化工艺:表面硬质氧化处理
可根据客户要求进行非标定制,请电话咨询。
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上海玺金机械设备有限公司致力于机械及行业设备,以科技创新实现***管理的追求。上海玺金机械深耕行业多年,始终以客户的需求为向导,为客户提供***的KN95全自动口罩生产线,KN95全自动口罩打片机,全自动平面口罩,焊耳机(KN95、平面)。上海玺金机械继续坚定不移地走高质量发展道路,既要实现基本面稳定增长,又要聚焦关键领域,实现转型再突破。上海玺金机械创始人孙建,始终关注客户,创新科技,竭诚为客户提供良好的服务。